Nestemäisiä typen jäähdytysjärjestelmiä käytetään laajasti puolijohde- ja siruteollisuudessa, mukaan lukien prosessi,
- Molekyylisäteen epitaksin tekniikka (MBE)
- Sirun testi Cob -paketin jälkeen
Aiheeseen liittyvät tuotteet
Tyhjiöeristetty putkisarja
Tyhjiöeristetty joustava letku -sarja
Dynaaminen tyhjiöpumppujärjestelmä
Tyhjiöeristetty faasierotinsarja
Tyhjiöeristetty venttiilisarja
Putkistojärjestelmän tukilaitteet
Molekyylisäteen epitaksi
Molekyylisäteen epitaksin (MBE) tekniikka kehitettiin 1950 -luvulla puolijohteiden ohutkalvomateriaalien valmistamiseksi tyhjöhaihdutustekniikan avulla. Erittäin korkean tyhjiötekniikan kehittämisen myötä tekniikan soveltaminen on laajennettu puolijohdetieteen alaan.
HL on huomannut MBE: n nestemäisen typen jäähdytysjärjestelmän, järjestäytyneen teknisen selkärangan kysynnän kehittämään onnistuneesti MBE -tekniikan erityistä MBE -nestemäistä typpihoittojärjestelmää ja täydellisen joukon tyhjiöeristettyä putkistojärjestelmää, jota on käytetty monissa yrityksissä, yliopistoissa ja tutkimuslaitoksissa .
Puolijohde- ja siruteollisuuden yleisiin ongelmiin kuuluu,
- Nestemäisen typen paine terminaalilaitteisiin (MBE). Estä paineen ylikuormitus vaurioiden päätelaitteen (MBE) laitteista.
- Useita kryogeenisiä nestemäisiä sisääntulon ja poistoaukon hallintaa
- Nestemäisen typen lämpötila terminaalilaitteisiin
- Kohtuullinen määrä kryogeenisiä kaasupäästöjä
- (Automaattinen) pää- ja haaraviivojen vaihtaminen
- Paineen säätö (pelkistäminen) ja VIP: n stabiilisuus
- Säiliön mahdolliset epäpuhtaudet ja jääjäämät puhdistavat pois
- Laitteen nestelaitteen täyttöaika
- Putkilinjan esikäsittely
- Nesteen vastus VIP -järjestelmässä
- Nestemäisen typen valvontahäviö järjestelmän epäjatkuvan palvelun aikana
HL: n tyhjiöeristetty putki (VIP) on rakennettu vakiona ASME B31.3 -paineputkikoodille. Tekniikan kokemus ja laadunvalvontakyky varmistaa asiakkaan tehtaan tehokkuus ja kustannustehokkuus.
Ratkaisut
HL -kryogeeniset laitteet tarjoavat asiakkaille tyhjiöeristetyn putkistojärjestelmän puolijohde- ja siruteollisuuden vaatimusten ja olosuhteiden täyttämiseksi:
1.Lauksellisen hallintajärjestelmä: ASME B31.3 Paineputkikoodi.
2. Erityinen faasierotin, jolla on useita kryogeenisiä nestemäisiä tulo- ja poistoaukkoa automaattisella ohjaustoiminnolla, vastaa kaasupäästöjen, kierrätetyn nestemäisen typen ja nestemäisen typen lämpötilan vaatimuksen.
3.Ohdokas ja oikea -aikainen pakokaasujen suunnittelu varmistaa, että päätelaitteet toimivat aina suunnitellun painearvon sisällä.
4.Taasu-nesteeste asetetaan VI-putkilinjan pystysuoraan VI-putkeen. Kaasu-nesteesde käyttää kaasutiivisteen periaatetta estämään lämmön VI-putkilinjan päästä VI-putkistoon ja vähentämään nestemäisen typen menetystä tehokkaasti järjestelmän epäjatkuvan ja ajoittaisen palvelun aikana.
5.VI-putkistot, joita hallitsee tyhjiöeristetyn venttiilin (VIV) -sarja: Sisältää tyhjiöeristetty (pneumaattinen) sulkuventtiili, tyhjiöeristetty vastaventtiili, tyhjiöeristet vaaditaan. VIV on integroitu VIP-esivalmistukseen valmistajassa ilman paikan päällä olevaa eristettyä hoitoa. VIV: n tiivisteyksikkö voidaan vaihtaa helposti. (HL hyväksyy asiakkaiden nimeämän kryogeenisen venttiilimerkin ja tekee sitten tyhjiöeristettyjä venttiilejä HL: llä. Jotkut tuotemerkit ja venttiilien mallit eivät välttämättä voi tehdä tyhjiöeristettyjä venttiilejä.)
6.Käytäntö, jos putken sisäpinnan puhtauteen on lisävaatimuksia. Ehdotetaan, että asiakkaat valitsevat BA- tai EP -ruostumattomasta teräksestä valmistetut putket VIP -sisäputkina ruostumattoman teräksen vuotojen vähentämiseksi edelleen.
7.vacuum -eristetty suodatin: Puhdista mahdolliset epäpuhtaudet ja jääjäämät säiliöstä.
8. Muutaman päivän tai pidemmän sammutuksen tai ylläpidon jälkeen on erittäin välttämätöntä, että VI -putkisto- ja päätelaitteet ennen kryogeenisen nesteen tulee, jotta vältetään jääkuonan jälkeen kryogeenisen nesteen jälkeen saapuvat suoraan VI -putkistoihin ja terminaalilaitteisiin. Esikäsittelytoimintoa tulisi harkita suunnittelussa. Se tarjoaa paremman suojan terminaalilaitteille ja VI -putkistotukilaitteille, kuten venttiileille.
9.Suit sekä dynaamiselle että staattiselle tyhjiöeristetylle (joustavalle) putkistolle.
10.Dynaaminen tyhjiöeristetty (joustava) putkistojärjestelmä: koostuu VI: n joustavista letkuista ja/tai VI -putkista, hyppääjaletkuista, tyhjiöeristetyistä venttiilijärjestelmästä, vaiheerottimista ja dynaamisista tyhjiöpumppujärjestelmästä (mukaan lukien tyhjiöpumput, solenoidiventtiilit ja tyhjiömittarit jne. ). Yksittäisen VI -joustavan letkun pituus voidaan räätälöidä käyttäjän vaatimusten mukaisesti.
11.Varioisia yhteystyyppejä: tyhjiö bayonet -yhteys (VBC) -tyyppi ja hitsattu yhteys voidaan valita. VBC-tyyppi ei tarvitse paikan päällä eristettyä hoitoa.
