Nestemäistä typpeä käyttäviä jäähdytysjärjestelmiä käytetään laajalti puolijohde- ja siruteollisuudessa, mukaan lukien prosessi,
- Molekyylisuihkuepitaksin (MBE) teknologia
- Sirun testi COB-paketin jälkeen
Aiheeseen liittyvät tuotteet
Tyhjiöeristettyjen putkien sarja
Tyhjiöeristetty joustava letkusarja
Dynaaminen tyhjiöpumppujärjestelmä
Tyhjiöeristetty vaiheerotinsarja
Tyhjiöeristetty venttiilisarja
Putkistojärjestelmän tukilaitteet
MOLEKYYLISÄKKEELÄ EPITAKSIAA
Molekyylisuihkuepitaksia (MBE) kehitettiin 1950-luvulla puolijohdeohutkalvomateriaalien valmistamiseksi tyhjiöhaihdutustekniikkaa käyttäen. Erittäin korkean tyhjiötekniikan kehittymisen myötä teknologian soveltamista on laajennettu puolijohdetieteen alalle.
HL on huomannut MBE-nestemäisen typen jäähdytysjärjestelmän kysynnän ja järjestänyt teknisen selkärangan kehittääkseen onnistuneesti erityisen MBE-nestemäisen typen jäähdytysjärjestelmän MBE-teknologiaa varten sekä täydellisen tyhjiöeristetyn putkistojärjestelmän, jota on käytetty monissa yrityksissä, yliopistoissa ja tutkimuslaitoksissa.
Puolijohde- ja siruteollisuuden yleisiä ongelmia ovat mm.
- Nestemäisen typen paine terminaalilaitteisiin (MBE). Estä paineen ylikuormitus terminaalilaitteiden vaurioilta (MBE).
- Useita kryogeenisten nesteiden tulo- ja lähtösäätimiä
- Nestemäisen typen lämpötila päätelaitteissa
- Kohtuullinen määrä kryogeenisiä kaasupäästöjä
- Pää- ja haaralinjojen (automaattinen) vaihto
- VIP-paineen säätö (aleneminen) ja vakaus
- Mahdollisten epäpuhtauksien ja jäänteiden puhdistaminen säiliöstä
- Terminaalin nestelaitteiden täyttöaika
- Putkilinjan esijäähdytys
- Nestemäinen vastus VIP-järjestelmässä
- Nestemäisen typen hävikin hallinta järjestelmän epäjatkuvan käytön aikana
HL:n tyhjiöeristetty putki (VIP) on valmistettu ASME B31.3 -paineputkistostandardin mukaisesti. Suunnittelukokemus ja laadunvalvontakyky varmistavat asiakkaan laitoksen tehokkuuden ja kustannustehokkuuden.
RATKAISUT
HL Cryogenic Equipment tarjoaa asiakkailleen tyhjiöeristettyjä putkistoja puolijohde- ja siruteollisuuden vaatimusten ja olosuhteiden täyttämiseksi:
1. Laadunhallintajärjestelmä: ASME B31.3 Paineputkiston koodi.
2. Erityinen faasierotin, jossa on useita kryogeenisen nesteen sisään- ja ulostuloja sekä automaattinen ohjaustoiminto, täyttää kaasupäästöjen, kierrätetyn nestemäisen typen ja nestemäisen typen lämpötilan vaatimukset.
3. Riittävä ja oikea-aikainen pakokaasusuunnittelu varmistaa, että päätelaitteet toimivat aina suunnitellun painearvon rajoissa.
4. Kaasu-neste-este sijoitetaan pystysuoraan VI-putkeen VI-putkilinjan päähän. Kaasu-neste-este käyttää kaasutiivistysperiaatetta estääkseen lämmön pääsyn VI-putkilinjan päästä VI-putkistoon ja vähentääkseen tehokkaasti nestemäisen typen hävikkiä järjestelmän epäjatkuvan ja ajoittaisen käytön aikana.
5. Tyhjiöeristetyn venttiilin (VIV) ohjaama VI-putkisto: Sisältää tyhjiöeristetyn (pneumaattisen) sulkuventtiilin, tyhjiöeristetyn takaiskuventtiilin, tyhjiöeristetyn säätöventtiilin jne. Erilaisia VIV-tyyppejä voidaan yhdistää modulaarisesti VIP:n ohjaamiseksi tarpeen mukaan. VIV on integroitu VIP-esivalmisteisiin valmistajalla ilman paikan päällä tapahtuvaa eristyskäsittelyä. VIV:n tiivisteyksikkö on helposti vaihdettavissa. (HL hyväksyy asiakkaiden valitseman kryogeenisen venttiilimerkin ja valmistaa sitten tyhjiöeristettyjä venttiilejä itse. Joitakin venttiilimerkkejä ja -malleja ei välttämättä voida valmistaa tyhjiöeristetyiksi venttiileiksi.)
6. Puhtaus, jos sisäputken pinnan puhtaudelle on lisävaatimuksia. Asiakkaiden suositellaan valitsevan VIP-sisäputkiksi BA- tai EP-ruostumattomasta teräksestä valmistetut putket ruostumattoman teräksen vuotojen vähentämiseksi entisestään.
7. Tyhjiöeristetty suodatin: Puhdista säiliöstä mahdolliset epäpuhtaudet ja jääjäämät.
8. Muutaman päivän tai pidemmän seisokin tai huollon jälkeen on erittäin tärkeää esijäähdyttää VI-putkisto ja päätelaitteet ennen kryogeenisen nesteen syöttämistä, jotta vältetään jään muodostuminen sen jälkeen, kun kryogeeninen neste pääsee suoraan VI-putkistoon ja päätelaitteisiin. Esijäähdytystoiminto on otettava huomioon suunnittelussa. Se tarjoaa paremman suojan päätelaitteille ja VI-putkiston tukilaitteille, kuten venttiileille.
9. Sopii sekä dynaamisille että staattisille tyhjiöeristetyille (joustaville) putkistoille.
10. Dynaaminen tyhjiöeristetty (joustava) putkistojärjestelmä: Koostuu VI-joustavista letkuista ja/tai VI-putkesta, hyppyletkuista, tyhjiöeristetystä venttiilijärjestelmästä, vaihe-erottimista ja dynaamisesta tyhjiöpumppujärjestelmästä (mukaan lukien tyhjiöpumput, solenoidiventtiilit ja tyhjiömittarit jne.). Yksittäisen VI-joustoletkun pituutta voidaan mukauttaa käyttäjän vaatimusten mukaan.
11. Erilaisia liitäntätyyppejä: Valittavana on tyhjiöbajonettiliitäntä (VBC) ja hitsattu liitos. VBC-tyyppi ei vaadi eristyskäsittelyä paikan päällä.
