Nestemäisen typen jäähdytysjärjestelmiä käytetään laajalti puolijohde- ja siruteollisuudessa, mukaan lukien
- Molecular Beam Epitaxy (MBE) -tekniikka
- Sirun testi COB-paketin jälkeen
Liittyvät tuotteet
Tyhjiöeristetty putkisarja
Tyhjiöeristetty joustava letkusarja
Dynaaminen tyhjiöpumppujärjestelmä
Tyhjiöeristetty vaiheerotinsarja
Tyhjiöeristetty venttiilisarja
Putkijärjestelmän tukilaitteet
MOLEKUURISÄDEEPITAKSIA
Molecular Beam Epitaxy (MBE) -tekniikka kehitettiin 1950-luvulla valmistamaan puolijohdeohutkalvomateriaaleja tyhjöhaihdutustekniikalla. Ultra-korkean tyhjiöteknologian kehittymisen myötä teknologian soveltaminen on laajentunut puolijohdetieteen alalle.
HL on huomannut MBE-nestetyppijäähdytysjärjestelmän, organisoidun teknisen rungon tarpeen kehittää onnistuneesti erityinen MBE-nestetyppijäähdytysjärjestelmä MBE-teknologiaa varten ja täydellinen tyhjiöeristeinen putkistojärjestelmä, jota on käytetty monissa yrityksissä, yliopistoissa ja tutkimuslaitoksissa. .
Puolijohde- ja siruteollisuuden yleisiä ongelmia ovat mm.
- Nestemäisen typen paine terminaalilaitteisiin (MBE). Estä paineen ylikuormitus vahingoittamasta terminaalin (MBE) laitteita.
- Useita kryogeenisen nesteen tulo- ja ulostulon säätimiä
- Nestemäisen typen lämpötila päätelaitteisiin
- Kohtuullinen määrä kryogeenisiä kaasupäästöjä
- (Automaattinen) Pää- ja haaralinjojen vaihto
- Paineen säätö (alennus) ja VIP:n vakaus
- Mahdollisten epäpuhtauksien ja jään puhdistaminen säiliöstä
- Terminaalin nestemäisten laitteiden täyttöaika
- Putkilinjan esijäähdytys
- Nestekestävyys VIP-järjestelmässä
- Hallitse nestemäisen typen häviämistä järjestelmän epäjatkuvan huollon aikana
HL:n Vacuum Insulated Pipe (VIP) on rakennettu ASME B31.3 Pressure Piping -koodin mukaan vakiona. Suunnittelukokemus ja laadunvalvontakyky takaavat asiakkaan tehtaan tehokkuuden ja kustannustehokkuuden.
RATKAISUT
HL Cryogenic Equipment tarjoaa asiakkaille tyhjiöeristetyn putkijärjestelmän, joka täyttää puolijohde- ja siruteollisuuden vaatimukset ja ehdot:
1. Laadunhallintajärjestelmä: ASME B31.3 Paineputkistokoodi.
2. Erityinen vaiheerotin, jossa on useita kryogeenisen nesteen tuloa ja ulostuloa automaattisella ohjaustoiminnolla, täyttää kaasupäästöjen, kierrätetyn nestetypen ja nestemäisen typen lämpötilan vaatimukset.
3. Riittävä ja oikea-aikainen pakokaasusuunnittelu varmistaa, että päätelaitteet toimivat aina suunnitellussa painearvossa.
4. Kaasu-nestesulku asetetaan pystysuoraan VI-putkeen VI-putkilinjan päähän. Kaasu-nestesulku käyttää kaasutiivisteperiaatetta estämään lämmön VI-putkilinjan päästä VI-putkiin ja vähentämään tehokkaasti nestemäisen typen hävikkiä järjestelmän epäjatkuvan ja ajoittaisen huollon aikana.
5.VI Putket, joita ohjaa tyhjiöeristetty venttiili (VIV) -sarja: Sisältää tyhjiöeristetyn (pneumaattisen) sulkuventtiilin, tyhjiöeristetyn takaiskuventtiilin, tyhjiöeristetyn säätöventtiilin jne. Eri tyyppejä VIV voidaan yhdistää modulaarisesti ohjaamaan VIP:tä vaaditaan. VIV on integroitu valmistajan VIP-esivalmistukseen ilman paikan päällä tehtyä eristettyä käsittelyä. VIV:n tiivisteyksikkö voidaan vaihtaa helposti. (HL hyväksyy asiakkaiden määrittämän kryogeenisen venttiilin merkin ja valmistaa sitten HL:n tyhjiöeristettyjä venttiileitä. Joitakin merkkejä ja malleja ei ehkä voida valmistaa tyhjiöeristetyiksi venttiileiksi.)
6. Puhtaus, jos sisäputken pinnan puhtaudelle on lisävaatimuksia. On ehdotettu, että asiakkaat valitsevat BA- tai EP ruostumattomasta teräksestä valmistetut putket VIP-sisäputkiksi ruostumattoman teräksen roiskeiden vähentämiseksi entisestään.
7. Tyhjiöeristetty suodatin: Puhdista mahdolliset epäpuhtaudet ja jääjäämät säiliöstä.
8. Muutaman päivän tai pidemmän seisokin tai huollon jälkeen on erittäin tärkeää esijäähdyttää VI-putkisto ja päätelaitteet ennen kryogeenisen nesteen syöttämistä, jotta vältetään jääkuona sen jälkeen, kun kryogeeninen neste pääsee suoraan VI-putkistoon ja päätelaitteeseen. Esijäähdytystoiminto tulee ottaa huomioon suunnittelussa. Se tarjoaa paremman suojan päätelaitteille ja VI-putkiston tukilaitteille, kuten venttiileille.
9. Sopii sekä dynaamiseen että staattiseen tyhjiöeristettyyn (joustavaan) putkijärjestelmään.
10. Dynaaminen tyhjiöeristetty (joustava) putkistojärjestelmä: Koostuu VI-joustavista letkuista ja/tai VI-putkesta, jumpperiletkuista, tyhjiöeristetyistä venttiilijärjestelmistä, vaiheerottimista ja dynaamisesta tyhjiöpumppujärjestelmästä (mukaan lukien tyhjiöpumput, solenoidiventtiilit ja tyhjiömittarit jne.). ). Yhden VI joustavan letkun pituus voidaan räätälöidä käyttäjän vaatimusten mukaan.
11. Eri liitäntätyypit: Vacuum Bayonet Connection (VBC) -tyyppi ja hitsausliitäntä voidaan valita. VBC-tyyppiä ei tarvitse eristää paikan päällä.
