Teknologia
Molekyylisuihkuepitaksia eli MBE on uusi tekniikka korkealaatuisten ohuiden kidekalvojen kasvattamiseksi kidealustoille. Erittäin korkeassa tyhjiössä lämmitysuuni varustetaan kaikilla tarvittavilla komponenteilla ja tuotetaan höyryä. Kollimaatiosuihkun jälkeen muodostettujen reikien läpi höyry ruiskutetaan suoraan sopivaan lämpötilaan yksittäiselle kidealustalle, ohjataan molekyylisuihkua alustalle skannaten samalla, jolloin kiteen kohdistuskerroksissa olevat molekyylit tai atomit muodostavat ohuen kalvon alustalle.
MBE-laitteiden normaalin toiminnan kannalta on tärkeää kuljettaa jatkuvasti ja vakaasti erittäin puhdasta, matalapaineista ja erittäin puhdasta nestemäistä typpeä laitteen jäähdytyskammioon. Yleisesti ottaen nestemäistä typpeä tuottavan säiliön lähtöpaine on 0,3–0,8 MPa. Nestemäinen typpi höyrystyy helposti typeksi -196 ℃:n lämpötilassa putkikuljetuksen aikana. Kun nestemäinen typpi, jonka kaasu-neste-suhde on noin 1:700, kaasutetaan putkistossa, se vie suuren määrän nestemäisen typen virtaustilaa ja vähentää normaalia virtausta nestemäisen typen putken päässä. Lisäksi nestemäisen typen varastosäiliössä on todennäköisesti puhdistamatonta jätettä. Nestemäisen typen putkessa oleva märkä ilma johtaa myös jääkuonan muodostumiseen. Jos näitä epäpuhtauksia pääsee laitteeseen, se aiheuttaa sille arvaamattomia vaurioita.
Siksi ulkosäiliössä oleva nestemäinen typpi kuljetetaan pölyttömässä työpajassa MBE-laitteisiin tehokkaasti, vakaasti ja puhtaasti. Matalapaineisena, typettömänä ja epäpuhtauksina, 24 tunnin keskeytyksettä, tällainen kuljetuksenohjausjärjestelmä on pätevä tuote.



Sopivat MBE-laitteet
Vuodesta 2005 lähtien HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) on optimoinut ja parantanut tätä järjestelmää ja tehnyt yhteistyötä kansainvälisten MBE-laitevalmistajien kanssa. MBE-laitevalmistajilla, mukaan lukien DCA ja REBER, on yhteistyösuhteita yrityksemme kanssa. MBE-laitevalmistajat, mukaan lukien DCA ja REBER, ovat tehneet yhteistyötä useissa projekteissa.
Riber SA on johtava maailmanlaajuinen molekyylisuihkuepitaksia (MBE) -tuotteiden ja niihin liittyvien palveluiden toimittaja yhdistepuolijohdetutkimukseen ja teollisiin sovelluksiin. Riber MBE -laite pystyy kerrostamaan erittäin ohuita materiaalikerroksia substraatille erittäin tarkalla ohjauksella. HL Cryogenic Equipmentin (HL CRYO) tyhjiölaitteisto on varustettu Riber SA:lla. Suurin laite on Riber 6000 ja pienin Compact 21. Se on hyvässä kunnossa ja asiakkaiden arvostama.
DCA on maailman johtava oksidi-MBE. Vuodesta 1993 lähtien on kehitetty systemaattisesti hapetustekniikoita, antioksidanttista substraattilämmitystä ja antioksidanttilähteitä. Tästä syystä monet johtavat laboratoriot ovat valinneet DCA-oksiditeknologian. Komposiittipuolijohde-MBE-järjestelmiä käytetään ympäri maailmaa. HL Cryogenic Equipmentin VJ-nestemäisen typen kiertojärjestelmällä (HL CRYO) ja useiden DCA-mallien MBE-laitteilla on vastaava kokemus monista projekteista, kuten malleista P600, R450, SGC800 jne.

Suorituskykytaulukko
Shanghain teknillisen fysiikan instituutti, Kiinan tiedeakatemia |
Kiinan elektroniikkateknologiayhtiön 11. instituutti |
Puolijohteiden instituutti, Kiinan tiedeakatemia |
Huawei |
Alibaba DAMO -akatemia |
Powertech Technology Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Photonics |
Julkaisun aika: 26.5.2021